GR.AF 箱式气氛炉 GR.VBF 真空箱式炉 GR.BF 箱式高温炉 GR.TF 真空管式炉 GR.VTF 立式管式炉 GR.PF 井式炉/坩埚炉 GR.PAF 井式气氛炉 CVD系统 GR.MF 高温马弗炉/高温电阻炉 箱式电阻炉 GR.STF 滑动式管式炉 GR.RTF 旋转管式炉 多工位真空管式炉